Know-how für bessere Solarzellen
In der Photovoltaikindustrie gibt es zahlreiche Einsatzgebiete für maßgeschneiderte Prozessenergie. Egal ob wafer-basierte oder Dünnschichtsolarzellen, Generatoren zur Plasmaanregung sind bei der Herstellung unerlässlich. Sie erzeugen die notwendige Energie für den Materialauftrag und -abtrag durch Sputter-, PECVD- und Ätzprozesse.
Zwei Typen von Solarzellen werden unterschieden: Solarzellen mit einem Siliziumwafer als Basis und Dünnschichtsolarzellen. Erstere stellen heute den Großteil der weltweit installierten Module dar. Es ist jedoch sehr viel Energie notwendig, um aus dem eigentlich nahezu unbegrenzt vorhandenen Silizium Wafersilizium zu erzeugen. Dünnschichtsolarzellen hingegen bieten die Möglichkeit, einen geringen Siliziumeinsatz mit einem guten Wirkungsgrad zu kombinieren.
