Unser Angebot für professionelles Arc-Management

Hohe Abscheideraten und hervorragende Schicht-qualitäten - das sind die entscheidenden Qualitäts-anforderungen bei plasmagestützten Beschichtungs-prozessen. Bei der Herstellung von Solarzellen ebenso wie bei der Beschichtung von Flachbildschirmen oder Architekturglas. Die Aufbringung der dünnen Schichten in der Plasmakammer kann jedoch von elektrischen Überschlägen, Arcs genannt, empfindlich gestört werden. Die eingesetzte Stromversorgung muss einen Arc daher in kürzester Zeit erkennen und individuell darauf reagieren.

Für die Anforderungen der verschiedenen Prozesse bieten wir abgestimmte Arc-Managementsysteme. Dadurch kann der Generator schnell und präzise auf den Arc reagieren. Die innovative Sensorik ermöglicht verbesserte  Prozessergebnisse und erhöhte Produktivität. Wir bieten Ihnen verbesserte Leistung bei gleichem Preis, denn Sie müssen keine zusätzliche Hardware kaufen.

Bei der Architekturglasbeschichtung sind hohe Leistungsdichten und Abscheidungsraten von zentraler Bedeutung. Der optimale Generator hierfür: Die TruPlasma MF Serie 7000 (50kHz). Diese Prozessstromversor-gungen sind standardmäßig mit dem innovativen Arc-Management SensorLine ausgestattet. Im Arc-Fall sorgt SensorLine dafür, dass das Plasma unterbrochen wird. Das Besondere dabei: SensorLine minimiert die Zeitspanne zwischen dem Auftreten eines Arcs und der Rückkehr zum Normalbetrieb auf weniger als eine Millisekunde - und ermöglicht so effiziente und stabile Prozesse.

Sind extrem dünne und homogene Schichten gefordert, wie beispielsweise bei der Flachbildschirmherstellung, bietet die TruPlasma MF Serie 7000 (70 kHz) die perfekte Lösung. Um diese sehr anspruchsvollen Prozesse optimal zu bedienen, bietet HÜTTINGER für diese Stromversorgungen ein zusätzliches Arc-Management: DetectLine reagiert hochsensibel auf auftretende Arcs. Und garantiert daher exzellente Schichtqualitäten.

Speziell für DC-Sputterprozesse eignen sich die Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000. Ausgestattet mit dem innovativen Arc-Management Compensate Line beweisen sie sich vor allem in Prozessen, in denen Zuverlässig-keit und Leistung von zentraler Bedeutung sind. Hierzu zählt beispielsweise die Solarzellenherstellung. Im Arc-Fall gleicht CompensateLine die gespeicherte Energie in der Ausgangschaltung sowie im Verbindungskabel zwischen Generator und Kathode optimal aus. Dies führt zu einer sehr schnellen Reaktionszeit der Prozessstromversor-gung auf das Arc und reduziert die Restenergie auf ein Minimum. So sorgt CompensateLine selbst in arc-reichen Prozessen, wie dem TCO-Sputtern, für hervorragende Schichtqualitäten.