PFS HF-Umschalter

Mehrere Prozesskammern und eine Stromversorgung

HF-Umschalter

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Ein HF-Umschalter erlaubt die Mehrfachnutzung eines HF-Generators an flexiblen Plasmasystemen:

bei sequenziellen Prozessen
an Systemen mit verschiedenen Einspeisepunkten

Die Umschalter sind optimal an die Anforderungen solcher Systeme ausgelegt:

nur der selektierte Ausgang ist aktiviert
nicht aktivierte Ausgänge sind zur Last geerdet
Umschaltung erfolgt im leistungslosen Zustand
Ausschaltverzögerung zur sicheren Abschaltung

Einsatzgebiet

Modellübersicht

HF-Umschalter bieten die Möglichkeit, verschiedene Prozessstationen einer Anlage von einem HF-Generator mit HF Leistung zu speisen.

Die HF-Umschalter bieten wir in 2 Leistungsklassen und mit 2, 3 oder 4 Ausgängen an.

Über ein zusätzliches Steuergerät PFS 100 A lässt sich der HF-Umschalter über das Bedienteil eines HÜTTINGER HF-Generators der PFG RF Serie und der QINTO Familie optimal steuern.

Einsatzgebiet

Modellübersicht

PFS HF-Umschalter
Produkt	Nennleistung [W]	Laststrom max. [A eff]	Eingang und Ausgänge	Betriebs- frequenz [MHz]	Last- spannung [kV]	Maße [mm]	Gewicht [kg]
PFS 1500 A	1500	6	50 Ω koaxial Typ N (Buchse)	13,56	max. 2	240 x 141 x 86	1,5
PFS 3000 A	3000	8,5	50 Ω koaxial 7/16 (Buchse)	13,56	max. 2	240 x 141 x 86	1,5

PFS HF-Umschalter

Mehrere Prozesskammern und eine Stromversorgung

HF-Umschalter / PFS