Masteroszillator

Die Manager für den frequenzsynchronen Betrieb

Mit den HÜTTINGER Masteroszillatoren lassen sich kritische synchrone Plasmaprozesse stabilisieren und optimieren. Der integrierte digitale Frequenz- und Phasensynthesizer sorgt für

  • hohe Frequenz- und Phasenstabilität
  • die Einstellung der Phaselage in kleinster Schrittweite
  • hohe Temperatur- und Langzeitstabilität

Die Masteroszillatoren können auch Frequenzen von 13,56 MHz und 3,39 MHz gleichzeitig synchronisieren.

Masteroszillator
Produkt Kanäle
Frequenz
[kHz]
Gewicht
[kg]
Maße
[mm]
MOP 2/13 2 13,56 1,5 483 x 90 x 350
MOP 4/13 4 13,56 1,5 483 x 90 x 350
MOP 8/13 8 13,56 1,5 483 x 90 x 350
MOP 16/13 16 13,56 1,5 483 x 90 x 350
MOP 2/13/3.3 1/1 13,56/3,39 1,5 483 x 90 x 350
MOP 4/13/3.3 2/2 13,56/3,39 1,5 483 x 90 x 350

Alle Masteroszillatoren haben folgende Kennzahlen für:

  • Frequenz: 13,56 MHz +/- 0,005% (3,39 MHz +/- 0,005%)
  • Phaseneinstellung: Einstellung 0 - 360° , Schrittweite 0.1°, Phasenstabilität +/- 1°; (T=10°C - 35°C)
  • Ausgangsimpedanz: 50 Ohm; Steckverbinder BNC
  • Ausgangssignal:

TTL Version Rechteck-Signal, TTL-Pegel

Sinus Version Sinus-Signal; Pegel 0,3 bis 90 mW einstellbar

TTL/Sinus Version auf Anfrage

  • Bedienung:

Lokal über Bedienteil mit LCD-Anzeige

Extern über RS 232, Profibus oder A/D-Schnittstelle

Netz: 85 V - 264 V N/PE

Masteroszillatoren / MOP