Mittelfrequenzgeneratoren der TruPlasma MF Serie 7000

Plasmaanregung auf höchstem Niveau

Überzeugen Sie sich selbst von den Vorteilen unserer TruPlasma MF 7000 Generatoren.

  • breite Spektren von Leistung und Frequenz
  • schnelles Arc-Management
  • geringe Restenergie und minimale Austastzeit
Eigenschaft Nutzen
Breites Leistungs- und Frequenzspektrum   Bedient große Prozess- und Anwendungsvielfalt
Fortschrittliches Arc-Management und geringe Restenergie   Ermöglicht dünnste homogene Schichten
Extrem schnelles Arc-Management   Hohe Raten auch bei kritischen Prozessen
Flexibles Anschlusskonzept   Erlaubt einfache Integration in Anlagenkonzepte
Hohe Stromreserve   Breiter Anpassungsbereich der Leistung
Minimale Stör- und Wartungsanfälligkeit   Hohe Verfügbarkeit und Lebensdauer

Das Generatorenkonzept der TruPlasma MF Serie 7000 umfasst Leistungsstufen von 25 kW bis 100 kW bei einem Frequenzbereich von 20 kHz bis 70 kHz, und leistungsstarke Generatoren von 100 kW bis 200 kW mit Ausgangsfrequenzen zwischen 20 kHz und 50 kHz. Es ermöglicht durch die breiten Spektren in Leistung und Frequenz eine große Anwendungsvielfalt in der Plasmaanregung. Das extrem schnelle Arc-Management sorgt für Prozessstabilität und erkennt quasi verzögerungsfrei Arcs. Dadurch ist es möglich, dünne Schichten wirtschaftlich und zuverlässig aufzubringen.

Diese Klasse ermöglicht die Beschichtung von Architekturglas und Folien. Hervorragende Ergebnisse werden bei Dual-Magnetron-Sputtern mit Planar- und rotierenden Magnetrons im reaktiven Modus erreicht.

Mittelfrequenzgeneratoren der TruPlasma MF Serie 7000
Produkt Leistung
[kW]
Frequenz
[kHz]
Ausgangs-
spannung
[V eff]
Kühlung
Netzspannung
[V]
TruPlasma MF 7025 25 20 - 70 500 - 1050 V Wasser (±10%) 400
TruPlasma MF 7050 50 20 - 70 500 - 1050 V Wasser (±10%) 400
TruPlasma MF 7075 75 20 - 70 570/750/990/1100 V Wasser (±10%) 400
TruPlasma MF 7100 100 20 - 70 500 - 1050 V Wasser (±10%) 400
TruPlasma MF 7100 100 20 - 50 570 - 1450 V Wasser (±10%) 400*
TruPlasma MF 7150 150 20 - 50 570 - 1450 V Wasser (±10%) 400*
TruPlasma MF 7200 200 20 - 50 570 - 1450 V Wasser (±10%) 400*
TruPlasma MF 7120 120 20 - 50 570 - 1450 V Wasser (±10%) 400*

* Optionale Netzspannungen für TruPlasma MF Serie 7000 (50 kHz): 380 V, 415 V, 440 V, 480 V.

TruPlasma MF Serie 7000