Vereint die Vorzüge von HÜTTINGER´s Combiner-Technik CombineLine und einer speziellen Umrichter-topologie für maximale Produktivität von RF-Plasma-Prozessen.
| Eigenschaft | Nutzen | |
|---|---|---|
| Am Markt einzigartiger Wirkungsgrad von 80 Prozent | Reduziert operationale Kosten | |
| Besonders robuster Generator | Maximale Systemlaufzeit, auch bei kritischen Prozessen | |
| Echte 50-Ohm-Ausgangsimpedanz | Stabile Prozesse für höchste Produktivität | |
| Hohe Regelgenauigkeit bei kleinen Leistungen | Reproduzierbare Prozessergebnisse | |
| Flexible Kabellänge zwischen Generator und Matchbox | Leichte und kostengünstige Systemintegration | |
Die TruPlasma RF Serie 1000 wurde speziell für Plasmaanwendungen in der Herstellung von Halbleitern entwickelt. Typische Fertigungsprozesse umfassen PECVD und PVD, sowie Trockenätzen zum Abtragen von Material. Diese Prozesse bedient diese Generatorenfamilie genauso souverän im Bereich Photovoltaik für die Produktion von Solarzellen, wie auch in der Oberflächenveredelung.
HÜTTINGER´s patentierte Combiner-Technik, CombineLine, sichert die kontinuierliche Energieversorgung bei Prozessen mit starken Lastschwankungen im Plasma. Zusätzlich überzeugt die TruPlasma RF Serie 1000 mit seinem außergewöhnlich hohen Energieumsetzungsgrad von 80 Prozent - für Beschichtungsprozesse höchster Produktivität und Kostenoptimierung.
