Hochfrequenzgeneratoren der TruPlasma RF Serie 7000

Plasmaanregung auf höchstem Niveau

Unsere HF-Serie für beste Prozessergebnisse:

  • Optimierte Technik mit großer installierter Basis
  • Passend erhältliche Matchboxen
  • Leistungsvarianten von 10 kW - 50 kW
Eigenschaft Nutzen
Sichere Bauweise (Röhren, Halbleiter und Hybrid)   Hohe Zuverlässigkeit bei höchst produktiven Prozessen
Bewährte Technik mit 100 Prozent Fehlanpassungsschutz   Betriebssicherheit auch bei kritischen Lasten
Mehrere Schnittstellen   Optimierte Technik für beste Prozessergebnisse
Kontinuierliche oder gepulste Leistungsabgabe   Unterstützt eine große Bandbreite von Prozessanforderungen

Die TruPlasma RF Serie 7000 umfasst eine Gruppe hochqualitativer Hochfrequenzgeneratoren zur Plasmaanregung. Sie sind erhältlich in Leistungsvarianten von 10 kW bis 50 kW bei einer Frequenz von 13,56 MHz. Dazu passend gibt es Matchboxen, die auf den jeweiligen Einsatz und die Leistungsklasse zugeschnitten sind.

Leistung [kW]
Frequenz [kHz]
Hochfrequenzgeneratoren der TruPlasma RF Serie 7000
Produkt Leistung
[kW]
Frequenz
[kHz]
Kühlung
Netzspannung
[V]
TruPlasma RF 7010 10 3390 Wasser (±10%) 400
TruPlasma RF 7010 10 13560 Wasser (±10%) 400
TruPlasma RF 7015 15 13560 Wasser (±10%) 400
TruPlasma RF 7018 18 3390 Wasser (±10%) 440
TruPlasma RF 7020 20 13560 Wasser (±10%) 400
TruPlasma RF 7030 30 13560 Wasser (±10%) 440
TruPlasma RF 7040 40 13560 Wasser (±10%) 440
TruPlasma RF 7050 50 13560 Wasser (±10%) 440

Optionen:

Verschiedene Länderspannungsausführungen erhältlich:

TruPlasma RF 7007 - 7020 (13,56 MHz) mit 200 V, 208 V, 440 V, 480 V

TruPlasma RF 7030 - 7050 (13,56 MHz) mit 400 V, 480 V

TruPlasma RF 7010 - 7018 (3,39 MHz) mit 400 V, 480 V

TruPlasma RF Serie 7000