Reinstes Wachstum Schicht für Schicht
Bei der Epitaxie handelt es sich um das Aufwachsen einkristalliner Schichten auf einkristallinen Substraten gleichen Materials, wobei die kristallografische Ordnung erhalten bleibt.
Prinzip der Epitaxie
Das Verfahren wird unter anderem bei der Herstellung von LEDs eingesetzt. Für deren komplexe Herstellung ist eine hohe und gleichmäßige Prozesswärme unerlässlich. HÜTTINGER Mittelfrequenzgeneratoren erzeugen diese zuverlässig und stabil.