Die modularste Baureihe für anspruchsvolle Plasmaprozesse.
- Bestens auf industrielle Prozessanforderungen abgestimmt
- Integrierter Matchboxcontroller
Hochfrequenz-Generator PFG-RF
Für anspruchsvolle Plasmaprozesse
| Eigenschaft | Nutzen | |
|---|---|---|
| Basisbaustein für HF-Systeme, intergrierter Matchboxcontroller und reichhaltiges Zubehör, wie HF-Kabel, Matchboxen und HF-Umschalter | Einfache Erweiterung zu komplexen HF-Gesamtlösungen bei geringen Einstiegskosten | |
| Moderne Mikrocontrollersteuerung | Gute Prozessergebnisse durch Stabilität und Reproduzierbarkeit | |
| Ein Standard für die gesamte HF-Lösung | Einfache Steuerbarkeit durch reduzierte Schnittstellenvielfalt | |
| Basisbaustein für HF-Systeme- intergrierter Matchboxcontroller- reichhaltiges Zubehör (HF-Kabel, Matchboxen, HF-Umschalter) | ||
Die PFG-RF Produktfamilie sind Hochfrequenz-Generatoren zur Plasmaanregung. Die Leistungsklassen der Baureihe sind bestens auf die industriellen Prozessanforderungen abgestimmt.
Ihre Leistungsklassen reichen von 0,3 kW bis 5 kW bei einer Arbeitsfrequenz von 13,56 MHz.
Bewährte Anwendungsgebiete sind Ätz- und Reinigungsprozesse sowie PECVD- und PVD-Prozesse spezieller Materialien.