Die innovative Kompaktlösung für HF-Plasmen.
- Kompaktes Leistungsmodul
- Hohe Leistungsdichte durch kompakte Bauweise
Hochfrequenz-Generator QINTO
Perfektion für HF-Plasmen
| Eigenschaft | Nutzen | |
|---|---|---|
| Präzise Mess- und Regeltechnik | Reproduzierbare und stabile Prozessergebnisse | |
| Hohe Leistungsdichte durch kompakte Bauweise | Unterstützt volumenoptimiertes Anlagendesign | |
| Hohe Stör- und Fehlanpassungssicherheit | Erlaubt hohe Maschinenverfügbarkeit | |
| Moderne Steuerungs- und Schnittstellenarchitektur, lokales Bedienerdisplay | Leichte Bedienung und Konfigurierbarkeit, manuell oder von übergeordneten Systemen aus | |
Die QINTO Produktfamilie ist eine innovative Gruppe von Hochfrequenz-Generatoren zur Plasmaanregung.
QINTO ist erhältlich mit einer Leistung von 2 kW - 3 kW bei einer Ausgangsfrequenz von 13,56 MHz. QINTO gibt es als kompaktes Leistungsmodul zum Einbau in Anlagen und Systeme und als 19-Zoll Einschub zum platzsparenden Einbau in Standardschaltschränke.
Bewährte Anwendungsgebiete sind Aktivierungs-, Ätz- und Sputterprozesse.
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4000 Burton Dr.
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Tel.: +1-408-454 1180
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