- PFM Anpassnetzwerke sorgen für den optimalen Leistungstransfer vom Generator in die Plasmaentladung.
- Sie sind praxisgerecht ausgelegt und optimiert.
- Sie arbeiten stabil und zuverlässig.
- Ein µ-Controller stellt die Funktion während aller Phasen des Plasmaprozesses sicher.
- Ihre genaue Messwerterfassung erlaubt die Aufnahme bzw. Stabilisierung von Plasmakenngrößen.
PFM Anpassnetzwerke (Matchboxen)
Die professionellen Übersetzer für die passende Impedanz
Für den optimalen Leistungstransfer von einem HF-Generator in einen Plasmaprozess werden Anpassnetzwerke eingesetzt. Ihre Aufgabe ist es, die wechselnde, komplexe und nichtlineare Plasmaimpedanz an die normierte Ausgangsimpedanz des HF-Generators zu transformieren und konstant zu halten.
Die Anpassnetzwerke unterstützen auch die Zündphase einer Plasmaentladung.
HÜTTINGER bietet für eine Vielzahl von Plasmaprozessen standardisierte Lösungen an.
- HF Ätzen (Etching)
- CVD, PECVD Prozesse
- PVD Prozesse (Sputtern)
- Inductive gekopplete Plasmen (ICP)
Alle Netzwerke verfügen über Standard-Messtechnik zur Erfassung von Prozessdaten:
- DC-Bias Messung
- HF-Spannungsmessung
- HF-Strommessung (optional)
Die Steuerung der Matchbox erfolgt in Verbindung mit einem HÜTTINGER Generator über dessen Bedienteil bzw. Datenschnittstelle. Ein separates Bedienteil PFC 300RF steht zur Verfügung