TruPlasma Bias Series 4000 optimiert Ihre gepulsten DC Plasmaprozesse.
Jedes Gerät verfügt über zwei Arbeitsmodi: einen Hochspannungsmodus mit 1200 Volt für Substrat-Ätzprozesse, sowie einen Niedrigspannungsmodus mit 300 Volt für bias-unterstützte Beschichtungs- prozesse.
| Eigenschaft | Nutzen | |
|---|---|---|
| Spezielles Leistungs- und Steuerdesign für eine fundierte Spannungsstabilität | Sichert gleichbleibend gute Prozessbedingungen | |
| Zwei separate Spannungsmodi | Vereinfachtes Systemhandling mit einem Gerät für mehrere Prozesse | |
| Geringste verfügbare Arc-Energie am Markt | Optimale Schichtqualität durch reibungslose Prozesse | |
| Ausgleich des Ausgangskabel-Widerstandes | Neutralisiert die Restenergie des Kabels | |
| Anschluss hinten | Optimale Geräteeinbindung | |
TruPlasma Bias Serie 4000 ist eine Produktfamilie modernster gepulster DC-Bias-Generatoren. Pulsfrequenzen bis zu 100 kHz sowie kontinuierlicher Biasoutput sind möglich.
Alle Geräte verfügen über zwei Arbeitsmodi: einen Hochspannungsmodus mit bis zu 1200 Volt und einen Niedrigspannungsmodus mit bis zu 300 Volt. Die Modi unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.
