Generatoren für Mittelfrequenz (MF)
Die Spezialisten für Großflächen und hohe Sputterraten

Mittelfrequenz Plasmageneratoren
Unsere Mittelfrequenz Plasmageneratoren

Generatoren im Bereich Mittelfrequenz (MF) vereinen mehrere Vorteile. Bei einer höheren Prozessstabilität gegenüber Gleichstrom sind sie kostengünstiger als Lösungen mit Hochfrequenz.

Bei großflächigen Sputterprozessen mit hohen Beschichtungsraten sind sie die idealen Generatoren. In Dual Magnetron Anwendungen bilden MF-Stromversorgungen das Herzstück in Beschichtungsanlagen für Architekturglas und Folien.

 

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TruPlasma MF
http://www.huettinger.com/produkte/plasmaanregung/truplasma-mf.html
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