Mittelfrequenzgeneratoren der TruPlasma MF Serie 3000

Plasmaanregung auf höchstem Niveau

Die TruPlasma MF Serie 3000 komprimiert Leistung auf kleinstem Raum.

  • für kleine und mittlere Leistungen
  • deckt Leistungsbereiche von 10 kW bis 40 kW ab
  • vielfach bewährt beim Sputtern mit Dual Magnetrons
Eigenschaft Nutzen
Schnelles Arc-Management, aktiv in jeder Wechselspannungshalbwelle   Hohe Beschichtungsraten auch bei kritischen Prozessen
Hohe Stromreserve und volle Leistungsabgabe in einem weiten Spannungsbereich   Erlaubt verschiedene Prozesse ohne Wechsel der Stromversorgung
Bewährte Technik in hoher Qualität   Hohe Verfügbarkeit bei hoch kritischen High-Tech-Anwendungen

Die TruPlasma MF Serie 3000 umfasst eine Palette von Mittelfrequenz-Generatoren zur Plasmaanregung für kleine und mittlere Leistungen im modularen Design. Sie deckt Leistungsbereiche von 10 kW bis 40 kW bei Frequenzen von 20 kHz bis 100 kHz ab. Vielfach bewährt haben sich die Geräte beim Sputtern mit Dual-Magnetrons.

Mittelfrequenzgeneratoren der TruPlasma MF Serie 3000
Produkt Leistung
[kW]
Frequenz
[kHz]
Ausgangs-
spannung
[V eff]
Kühlung
Netzspannung
[V]
TruPlasma MF 3010 10 20 - 100 900 - 4200* Wasser (±10%) 200; 400
TruPlasma MF 3020 20 20 - 100 900 - 4200* Wasser (±10%) 200; 400
TruPlasma MF 3030 30 20 - 100 900 -4200* Wasser (±10%) 200; 400
TruPlasma MF 3040 40 20 - 100 900 - 4200* Wasser (±10%) 200; 400

*Ausgangsspannungen abhängig von Netzspannung:

200 V Netzspannung: 900V - 1700 V;

400 V Netzspannung: 1100 V - 2050 V;

200 V Netzspannung: 2150 V -4200 V nur für TruPlasma MF 3010 / 3020 bei 15 A max. Ausgangsstrom

TruPlasma MF Serie 3000