Zuverlässige, hochqualitative HF-Generatoren zur Plasmaanregung.
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Generatoren für Hochfrequenz (HF)
Makro-Ergebnisse für Mikro-Prozesse
Unsere Hochfrequenz Plasmageneratoren
HF-Generatoren bieten die höchste Prozessstabilität und werden daher sehr oft bei der Herstellung von kleinsten Bauelementen eingesetzt. Wo andere Verfahren nicht ausreichen, können unsere Generatoren zum Gelingen beitragen.
