Freiburg, 12. April 2010 - Homogene, dünne Schichten in Arc-reichen Sputterprozessen - dieses Ergebnis erreichten Anwender bisher am besten mit hochpreisigen, gepulsten Prozessstromversorgungen. Das geht jetzt auch deutlich preiswerter. Denn HÜTTINGER bringt eine neue Generation von kontinuierlichen Gleichstromgeneratoren auf den Markt, die auch in sehr anspruchsvollen Prozessen optimale Beschichtungsresultate erzielen: die TruPlasma DC Serie 3000 NEU.

Speziell entwickelt für anspruchsvolle Sputterprozesse

Auf der Messe Practical Vacuum, die vom 27. bis 28. April 2010 in Birmingham, Großbritannien, stattfindet, wird HÜTTINGER den neuen Gleichstromgenerator erstmals der Öffentlichkeit präsentieren. Erhältlich mit einer Ausgangsleistung von 20 bis 160 Kilowatt liefert er seine Leistung konstant und präzise über einen breiten Lastanpassungsbereich.

„Wir haben die TruPlasma DC Serie 3000 NEU speziell für anspruchsvolle Sputterprozesse entwickelt" erläutert Wojciech Glazek, Produktmanager bei HÜTTINGER, die Einsatzmöglichkeiten der neuen Prozessstromversorgung. „Diese Generatoren eignen sich daher optimal für Beschichtungsverfahren in der Solarzellenherstellung und der Architekturglasbeschichtung, in denen Prozesssicherheit und hoher Durchsatz von zentraler Bedeutung sind."

Optimale Beschichtungsergebnisse dank innovativem Arc-Management

Technologisch einzigartig ist die TruPlasma DC Serie 3000 NEU dank ihres innovativen Arc-Managements. Denn speziell für diesen Generator verbesserte HÜTTINGER das Arc-Management CompensateLine noch einmal deutlich. Kommt es zu einem Arc-Fall, gleicht die neue CompensateLine die gespeicherte Energie in der Ausgangschaltung sowie im Verbindungskabel zwischen Generator und Kathode noch besser aus. Dies führt zu einer sehr schnellen Reaktionszeit des Generators auf das Arc und reduziert die Restenergie auf ein Minimum. Darüber hinaus sorgt CompensateLine dafür, dass die Arc-Energie nicht ungenutzt entweicht. Vielmehr wird die Energie wieder dem Generator und damit dem Prozess zugeführt. Dies bringt gleich zwei Vorteile mit sich: Zum einen ist der Generator deutlich energieeffizienter als luftgekühlte Prozessstromversorgungen. Zum zweiten strahlt der Generator weniger Wärme ab, was die Gefahr einer Überhitzung des Gerätes verringert.

Kurz gesagt: Mit der TruPlasma DC Serie 3000 NEU kann der Anwender wesentlich wirtschaftlicher produzieren als mit anderen Prozessstromversorgungen. Selbst in Arc-reichen Prozessen, wie dem Sputtern von TCO-Schichten, ermöglichen diese Generatoren dünne und homogene Schichten. Wo bisher nur gepulste Generatoren eingesetzt werden konnten, bietet die TruPlasma DC Serie 3000 NEU nun eine kostengünstige Alternative mit optimalen Ergebnissen.

Wasserkühlung ermöglicht kompaktes und robustes Design

Vorteilhaft ist auch die vollständige Wasserkühlung der TruPlasma DC Serie 3000 NEU. Sie ermöglicht eine kompakte Bauweise, mit der der Generator problemlos in bestehende Beschichtungsanlagen integriert werden kann. Unterstützt wird die einfache Integration durch die Vielzahl an vorhandenen Kommunikationschnittstellen. Die Wasserkühlung verbessert zudem die Robustheit des Generators. Verunreinigungen gelangen nicht ins Gerät und ein Zusatzfilter ist nicht notwendig. Egal ob bei großer Hitze oder in staubigem Umfeld - der Generator ist von seiner Umgebung weitestgehend unabhängig und und erweist sich auch unter rauen Bedigungen als zuverlässig und widerstandsfähig.

Eigenschaften, mit denen sich fast jeder Prozess beherrschen lässt

Trotz ihrer kompakten Größe verfügt die TruPlasma DC Serie 3000 NEU über eine große Leistungsdichte. Bemerkenswert ist vor allem die hohe Brennspannung der Prozessstromversorgung von 1000 Volt. Dadurch kann der Generator flexibel für eine große Bandbreite an Prozessen eingesetzt werden.

Für Anlagenbauer interessant ist die Tatsache, dass die TruPlasma DC Serie 3000 NEU bei einer Eingangsspannung von 400 bis 480 Volt - und damit weltweit variabel - betrieben werden kann.

„Die TruPlasma DC Serie 3000 NEU setzt neue Standards auf dem Gebiet des Gleichstromsputterns", fasst Wojciech Glazek die Vorteile der Neuentwicklung zusammen. „Dank verbessertem Arc-Management ist der Generator schneller und effizienter als Konkurrenzprodukte. Dadurch ermöglicht er eine wirtschaftlichere Produktion mit höherem Ertrag - und verschafft dem Anwender so klare Wettbewerbsvorteile."